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냉각(Cooling) 설계·온도균일성(Uniformity) 확보 경험이 있는지 말해달라.
히터 설계는 매우 고난도 기술인데, 실무 경험이 없어도 가능한가?
히터 설계요소는 매우 많지만 핵심은 다음 네 가지입니다.
히터는 반복되는 온도 변화 때문에 내구성 확보를 위해 열응력 설계가 매우 중요합니다.
냉각 설계·온도균일성(Uniformity) 확보 경험이 있는지 말해달라.
히터는 가열보다 균일성이 훨씬 더 어려운 설계요소였습니다.
히터 구조·재료·전기·공정·해석까지 모두 이해하는 종합설계 엔지니어로 성장하고 싶습니다.
온도균일성 설계 경험
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5년 후원 익 아이피에스 히터 설계 엔지니어로서 어떤 전문가가 되고 싶은가?
원익 아이피에스는 반도체 제조장비의 핵심 공정(CVD·ALD·Etch 등)을 자체 기술로 구현하는 기업이며, 그 과정에서 히터는 공정의 성공 여부를 결정하는 가장 중요한 부품 중 하나입니다.
히터는 온도 균일성을 확보하고 공정 속도를 좌우하며, 미세 패턴 형성의 안정성을 크게 좌우하는 설비 핵심입니다.
원익 아이피에스처럼 공정장비의 핵심 부품을 자체 설계하고 지속적으로 개선하는 기업에서 실질적 기술을 만들어가는 엔지니어가 되고 싶어 지원했습니다.
궁극적으로 "원익 아이피에스장비 성능을 결정하는 핵심기술 전문가"로 성장하고 싶습니다.
히터는 단순히 온도를 올리는 부품이 아니라, 공정 반응을 결정하는 핵심 요소입니다.
Etch공정도 온도 균일성이 패턴 손상 여부를 결정
반도체 공정은 온도 오차± 1C 차이만으로도 결과가 크게 바뀌기 때문에, 히터는 장비의 성능·재현성·수율을 좌우하는 핵심 부품입니다.
온도균일성(Uniformity)
열응력(ThermalStress)을 최소화하는 구조
온도제어 실험에서 PID 제어 기반으로 히터온도 응답성을 개선하는 프로젝트를 수행했습니다.
병렬히 터 구조를 적용해 균일성을 개선한 경험도 있으며, 이 과정에서 "온도는 제어뿐 아니라 구조와 소재로 해결해야 한다"는 점을 배웠습니다.
특히 ALD·CVD는 챔버 내 가스 유동이 복잡해 열전달기작이 혼합되어 발생하기 때문에 해석 기반 설계가 필수입니다.
이 과정에서나 사홀 간섭·공간 제한 등 장비 내부 구조 설계에서 발생하는 문제를 이해했습니다.
히터는 반복되는 온도 변화 때문에 내구성 확보를 위해 열응력 설계가 매우 중요합니다.
CVD : 수백도의 고온에서 반응 속도·균일성 확보
가공성
열원 분포 해석
센서 배치 위치를 두고 협업팀 간 의견이 갈렸을 때, 온도 분포 데이터를 제시하며 최적의 위치를 도출한 경험이 있습니다.
장비 개발은 반복과 시행착오의 연속이며, 문제 해결 과정에서 큰 성취감을 느끼기 때문에 충분히 지속가능합니다.
저는 열·재료·구조의 상관관계를 깊이 이해하고 실제 설계에 적용하는 역량을 가진 히터설계 엔지니어를 목표로 준비해온 지원자입니다.
원익 아이피에스는 공정장비 핵심 부품을 직접 설계·개발하며 기술기반 경쟁력을 갖춘 기업으로, 이 환경에서 저는 온도 균일성·내구성·응답성을 모두 개선하는 설계 전문가로 성장하고 싶습니다.
정확성·분석력·집요함을 기반으로 원익 아이피에스의 공정장비 성능을 높이는 부품 설계 엔지니어가 되겠습니다. |
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2025.11.25
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