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광삼각법 이론 해석
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광삼각법 이론 해석
광삼각법의 이론 및 적용한 사례
광삼각법의 이론
광삼각 측정 방법은 거리측정 장치나 형상측정 장치에 이용되는 방법이다. 빛의 접속이 필요하므로 광원으로 레이저 빔을 사용하는 것이 일반이다. 장치의 구성은 점 형의 레이저 빔 발생 광학계, 레이저 빔 영상 광학계, 레이저 전류 제어부, 수광소자, 그리고 영상신호 처리장치 등으로 구성된다. 광삼각 방식의 레이저 측정 장치의 기본 원리는 Fig. 1과 같다. 선형의 레이저 빔에 대해서는 2차원 CCD센서의 각 화소에 대하여 동일한 원리를 적용하여 대상체의 높이 정보와 배율을 구하여 3차원 정보를 구하게 된다. 물체 면에 조사된 작은 레이저 광점은 입사 레이저 빔 축과 특정각도로 기울어져 설치된 영상렌즈에 의해 위치측정센서인 PSD나 CCD면에 상을 맺는다.
광삼각법 프로브: OTPs
서브미크론의 분해능으로 비접촉으로 측정이 이루어진다는 특징으로 인해 변위 측정, 3차원 측정기 등여러분야에서 널리 쓰이고 있다. 더욱이 빠른응답, 간단한 구조, 우수한 반복성, 높은 감도, 그리고 넓은 측정범위를 가진다. 그러나 측정 표면의 기울어짐, 스펙클 현상, 광원의 출력 변화, 광점 검출 소자의 잡음 등에 의한 오차로 인해 OTP의 성능이 제한된다. 이런 오차를 줄이기 위해 많은 연구가 행해 지고 있는데 제안된 방법 중의 하나는 측정표면 주위에 여러 개의 광점 검출 소자를 설치하고 공간적 평균화를 통하여 더욱 정확한 출력을 얻는 것이다. 또 다른 방법은 광점 검출 소자 상에서 광점의 위치만을 검출하는 것이 아니라 광점 검출 소자상의 모든 광강도의 촐량을 측정하고 처리하는 새로운 OTP를 설계하는 것이다. 하지만 이 방법은 광강도의 총량이 광원의 출력변화와 잡음에 민감하기 때문에 실체응용에 적합하지 않다.
오차 최소화 시스템
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2013.05.01
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