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반도체 공정기술
Q1. Fou ndry와 IDM, Fabless의 차이점을 정의하고, 파운드리 공정 기술엔지니어가 갖추어야 할 가장 핵심적인 역할은 무엇이라 생각합니까?
Q5.파운드리 수율(Yield) 향상을 위해 공정엔지니어가 갖춰야 할 데이터 분석 역량에 대해 실제 경험을 바탕으로 기술하세요.
Q8.공정기술개발 중 예상치 못한 'KillerDefect'가 발생하여 수율이 급락했다면, 어떤 절차로 원인을 파악하고 해결하겠습니까?
Q10.핀펫(FinFET) 공정의 한계와 이를 극복하기 위한 삼성의 GAA 기술 도입이 파운드리 시장 점유율에 미칠 영향은 무엇입니까?
제가 정의하는 공정기술 전문가는 '현장의 소리를 데이터로 통역하여 수율로 증명하는 사람'입니다.
이러한 기술적 호기심을 바탕으로 CFET 공정에서 발생할 고난도 식각 및 증착과제들을 데이터 기반으로 해결해 나가는 엔지니어가 되겠습니다.
Q97.파운드리 사업부 공정기술엔지니어로서 10년 후 본인이 삼성전자 내부에서 어떤 평가를 받고 싶습니까?
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PART3.차세대 소자 및 초미세 공정 트렌드(46~70선)
PART4. 수율 관리 및 품질분석(71~85선)
MPW는 한 장의 웨이퍼에 여러 고객사의 다양한 설계도면을 얹어 시제품을 생산하는 서비스로, 팹리스의 초기 제조 비용 부담을 덜어주는 핵심 비즈니스 모델입니다.
공정기술엔지니어에게 MPW는 다양한 설계 패턴이 공정상에서 어떻게 반응하는지 확인할 수 있는 '거대한 실험실'과 같습니다.
Q6. 고객사(Fabless)로부터 특정 공정 조건 변경 요청이 들어왔을 때, 양산 안정성과 고객 요구 사이에서 어떻게 의사결정을 하겠습니까?
Q24.공정간 'QueueTime(Q-Time)' 관리가 제품 품질에 미치는 영향과, 파운드리 라인에서 이를 효율적으로 제어하기 위한 본인만의 아이디어는?
STI 공정은 트렌치식각, 산화 막매립, CMP 평탄화순으로 진행되어 인접한 소자간의 간섭을 차단하는 역할을 합니다.만약 트렌치식 각시 모서리 부분이 날카롭게 형성되거나 산화막 매립시 빈 공간(Void)이 생기면 전계 집중현상이 발생하여 누설 전류가 급증하고 소자가 파괴될 수 있습니다.
Q29.반도체 수율 향상을 위해 'DefectDens ity(결함 밀도)'를 줄이는 것이 핵심인데, 파티클(Particle)의 발생 원인을 설비, 소재, 환경 측면에서 분류하여 기술하세요.
GAA 구조에서는 채널 역할을 하는 나노시트 사이의 희생층(SacrificialLayer)만을 손상 없이 깨끗하게 제거하는 고도의 선택적 식각기술이 필수적입니다.
삼성전자의 GAA 기술은 Gate가 채널의 4면을 모두 감싸기 때문에 Fin FET 대비 채널 제어 능력이 월등히 뛰어나며, 누설 전류를 획기적으로 줄일 수 있습니다.
MBCFETtm은 삼성전자가 독자적으로 명명한 GAA 기술로, 기존의 와이어(Wire) 형태가 아닌 종이처럼 넓고 평평한 나노시트(Nanos heet) 구조를 채널로 활용하는 것이 핵심입니다.
와이어 형태의 GAA는 전류가 흐르는 단면적이 좁아 성능 향상에 제약이 있지만, MBCFETtm은 시트의 폭을 조절하여 성능과 전력효율을 유연하게 최적화할 수 있다는 강력한 차별점이 있습니다.
Q54.초 미세공정에서 노광(Photo) 공정의 오정렬(Overlay) 마진을 확보하기 위한 'Self-Aligned' 기술들의 중요성에 대해 설명하십시오.
Q56.초 미세공정에서 'EUV 펠리클(Pell icle)' 도입의 필요성과 현재 기술적 난제는 무엇이며, 이것이 파운드리 생산성에 미치는 영향은 무엇입니까?
Q59.'DirectSelf-Assem bly(DSA) '기술의 원리와, 이것이 기존 노광공정의 한계를 보충하는 차세대 패터닝 기술로서 가지는 잠재력은 무엇입니까?
Q62.초 미세공정에서의 'EdgePlacementE rror(EPE) '정의와 이를 줄이기 위한 통합공정제어(HolisticControl)의 중요성을 서술하세요.
Q66. 'Annealing(열처리)'공정에서 온도 변화의 가속도(Ramp-up/down)가 박막의 결정성과 소자 신뢰성에 미치는 영향을 서술하세요.
이는 표준로직 공정 온도와 메모리 소재의 열적 안정성을 동시에 만족시켜야 하는 고난도 과제입니다.
저는 신규 메모리 소자의 동작원리를 학습하며 소재의 히스테리시스 특성이 데이터 유지에 미치는 영향을 연구했습니다.
System aticDefect는 특정 설계 패턴이나 공정 레시피의 한계로 인해 반복적으로 발생하는 불량이며, RandomDef ect는 파티클이나 환경오염 등 통제하기 어려운 변수에 의해 무작위로 발생하는 불량입니다.
Q76.'Waf erBinMap(WBM)'데이터 분석을 통해 알 수 있는 불량의 유형과, 특정 패턴(예 : 엣지 불량) 발생 시 의심해볼 수 있는 공정상의 문제는 무엇입니까?
예를 들어 TEG 측정 결과 배선 저항이 높게 나타난다면, 즉시 식각 잔여물이나 증착 두께를 점검하여 수천장의 웨이퍼가 불량이 되는 것을 막을 수 있습니다 .
Q79.제품의 수명과 신뢰성을 평가하는 'HTOL(HighTemperatu reOperatingLife) '테스트의 목적과, 공정엔지니어가 신뢰성 테스트 결과를 바탕으로 공정을 개선하는 과정을 서술하세요.
Q80. 공정엔지니어로서 'DataI ntegrity(데이터 무결성)'의 중요성에 대해 설명하고, 실험 결과가 예상과 다르게 나왔을 때의 올바른 태도를 서술하세요.
Q81.수율 개선을 위해 타 부서(설계, 설비, 소자)와 협업해야 했던 경험이나, 협업 시 가장 중요한 의사소통 원칙은 무엇이라 생각합니까?
Q83.공정마진(ProcessWindow)의 개념을 정의하고, 미세공정에서 이 마진이 좁아지는 문제를 공정엔지니어링 측면에서 어떻게 극복할 수 있습니까?
Q84.반도체 불량분석에서 'RootCauseA nalysis(RCA)'의 단계와, 근본 원인을 찾기 위해 '5-W hy' 기법을 적용한 본인만의 사례를 기술하세요.
제가 생각하는 가장 안전한 사업장은 '사소한 규칙 위반도서로 경고하고 수용할 수 있는 심리적 안전감이 형성된 곳'입니다.
Q95.파운드리 공정 중 예상치 못한 설비정지로 납기 지연 리스크가 발생했을 때, 고객사와 동료들에게 어떻게 상황을 공유하고 대처하겠습니까?
Q98. 업무를 수행하며 본인의 실수로 공정사고가 발생했을 때, 이를 보고하고 처리하는 본인만의 기준은 무엇입니까? |
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