|
|
 |
|
반도체공학 실험 - Annealing(Silcidation)
실험: Annealing(Silcidation)
1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 Metal deposition 을 실시한 후 실리콘 기판 위에
규소화합물(Silicide)를 구성하기 위하여 내열성 금속과 실리콘을 합금하는 과정을 실시한다.
이 때 RTP를 통해 어닐링을 실시한다. 어닐링 시간을 40초로 고정하고 .. |
|
|
|
|
|
 |
|
반도체공정 실험 - Photo Lithography
실험: Photo Lithography
1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 Wafer cleaning Oxidation 공정을 실시한 후
Si기판 위에 패턴을 형성하는 공정인 Photo lithography 를 실시하며 FE-SEM을 이용하여
PR inspection을 측정한다. 이번 실험에서 PR두께는 1~2micro meter로, Developing tim.. |
|
|
|
|
|
 |
|
반도체공정 실험 - Dry etching
실험: Dry etching
1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 Photolithography 공정을 실시한 후 Si기판을
플라즈마를 이용하여 식각하는 공정인 Dry etching 을 실시하며 FE-SEM을 이용하여
SiO2 inspection을 측정한다. 이번 실험에서 전원의 세기를 300와트로 에칭 시간을
3min, 5min, 7.. |
|
|
|
|
|
 |
|
반도체공정 실험 - Cleaning Oxidation
실험 1 : Cleaning Oxidation
1. 실험 목적
MOS CAP을 제작하는 전체의 공정에서 첫 번째 공정에 해당하는 Wafer cleaning Oxidation 공정을 실시한다. 산화 온도를 고정하고 산화 시간을 조정 하였을 때 Oxide 층의 두께 변화에 어떤 영향을 주는지 확인하여본다.
2. 실험 방법
가. 실험 변수
Wafe.. |
|
|
|
|
|
 |
|
반도체 공학 - 반도체 공정에 관해서
Semiconductor-Grade Silicon
Table 4.1
CVD 이용// PVD이용
Back End Processing
1243
5 |
|
|
|
|
|
 |
|
미세조직 실험 - 인장실험
미세조직 실험 - 인장실험
목 차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험목적
Ⅲ. 실험방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 결론
Ⅵ. 참고문헌
Ⅰ. 서론
(1) 인장
어떤 힘이 물체의 중심축에 평행하게 바깥 방향으로 작용할 때 물체가 늘어나는 현상
(2) 응력
물체에 외부 힘이 가해졌을 때 외력에 저항하여 형태를 유지하려고 하는 내력을.. |
|
|
|
|
|
 |
|
미세조직 실험 - 경도 실험
경도 실험
목 차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험목적
Ⅲ. 실험방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 결론
Ⅵ. 참고문헌
Ⅰ. 서론
(1) 경도(Hardness)
국부소성변형에 ‘압입에 대한 저항’을 말하며, 더 쉽게 말하면 굳기, 물질의 단단하고 무른 정도를 표현되나 정확한 것은 아니다 그 이유는 경도는 재료의 물리적 성질에 직접 연관.. |
|
|
|
|
|
 |
|
미세조직 실험 - 가공경화 및 압축 실험
목 차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험목적
Ⅲ. 실험방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 결론
Ⅵ. 참고문헌
1. 가공경화 실험
Ⅰ. 서론
(1) 구리
Table 1.1 구리의 성질
원소기호
Cu
원자 번호
29
원자량
63.549
녹는점
1084.5℃
끓는점
2595℃
비중
8.92 (20℃)
구리는 동 이라고도 하며, 은 ·금과 함께 화폐금속이라고도 한다. 2종(6.. |
|
|
|
|
|
 |
|
디지털 통신 - AM, FM 신호의 변조와 복조, 통신 코딩 및 그래프 해석
1. 주어진 메시지 신호를 시간 축에서 한주기, 주파수축에서 magnitude 스펙트럼을 그리시오.
먼저 주어진 신호는 이다.
이 신호를 푸리에 변환 하면
이다.
코드를 설명하면 message_input함수는 m(t)를 입력하는 함수로서 배열을 이용하여 mt_real, mt_image변수에 입력하였다. 각 코사인함수 안.. |
|
|
|
|
|
 |
|
나노소재 - CdS 나노입자에 관한 분광학적성질
CdS 나노입자에 관한 분광학적성질
순 서
실 험 목 적
이 론
실 험 방 법
실 험 결 과
고 찰
실 험 목 적
CdS 나노입자를 합성하고 그 분광학적
성질을 관찰하여 크기와 분광학적 성질
사이의 관계를 고찰하는데 목적이있다.
이 론
나노입자의 특성
* 광학적 특성
* 화학적 특성
* 전자기.. |
|
|
|
|
|
