thin film[박막] 여러가지 특성 정리

1) Explain the characterization tools

① 결정구조를 회절법으로 밝히는 방법

- 회절(diffraction)이란
회절은 대표적인 파동 현상 중 하나이다. 간섭현상으로서의 회절현상으로는 가시광이 회절격자에 의해 반사되는 경우, 엑스선이 고체결정에 의해 반사되는 경우, 파장이 좁은 틈을 지날 때 생기는 1~2차 회절 현상 등이 있다.
입자의 진행경로에 틈이 있는 장애물이 있으면 입자는 그 틈을 지나 직선으로 진행한다. 이와 달리 파동의 경우, 틈을 지나는 직선 경로뿐 아니라 그 주변의 일정 범위까지 돌아 들어간다. 이처럼 파동이 입자로서는 도저히 갈 수 없는 영역에 휘어져 도달하는 현상이 회절이다.

X-ray diffraction(XRD, X선 회절)

-X선이란
고속의 전자가 무거운 원소의 원자에 충돌할 때 coulomb힘에 의해 원자에 강하게 종속된다. 이때 전자의 운동에너지 일부가 전자기파 형태로 방사하는 데 이것을 X선이라 한다.

-X-ray diffraction
만일 결정이 일정한 간격으로 규칙적인 배열을 한 원자로 되어 있고, 또 X선이 결정내의 원자사이의 거리와 거의 비슷한 파장을 가징 전자파라면, X선이 결정에 의해서 회절 될 것이라고 추정하여 물질의 결정구조를 밝히는 방법 중 하나이다. X선을 시료에 조사하면 나오는 회절패턴으로, 물질의 규칙적인 원자배열을 추측할 수 있다.
처음 Laue가 실험적으로 증명했으며 W.H.Bragg는 Laue가 사용했던 수식보다 더욱 간단한 수식을 회절에 필요한 조건을 Bragg s law로 나타내었고 각종 물질의 결정구조를 밝히는 데 성공하였다.

-X선 회절실험의 특징
1. 시료에 대한 제한이 적다.(금속, 합금, 무기화합물, 암석광물, 유기화합물, 폴리머, 생체재료 등, 결정질 및 비정질재료 모두 측정가능, 분말시료, 판상, 액체, 리본, thin film시편)
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