X선회절분석기[X-Ray Diffractometer, XRD]

⁌X선회절분석기(X-Ray Diffractometer, XRD)

X선 회절장치(X-Ray Diffractometer, XRD)
- x선 회절장치는 시료의 상태에 따라서 분말법용과 단결정용으로 분류할 수 있다. 전자의 경우는 Debye-Scherrer Camera, 후자의 경우는 Weissenberg Camera, 단결정 자동 X선 회절장치(X-Ray Diffractometer, XRD)등이 있다.
또, X선 회절장치는 X선의 검출 방법에 따라서, Film을 사용하는 사진법에 의한것과 Counter(검출기)를 이용하는 Counter법에 의한 것으로 분류할 수 있다.
Counter에 의해 자동기록방식을 이용한 X선 회절계를 디프랙토메타라고 하며, 주로 분말법용으로 이용한다.

◉구성
- X-ray Generator, 고니오미터, 계수기록장치, 제어연산장치

1. X-ray 발생장치 (X-ray Generator)
(1)X-ray tube
-봉입형 X-ray tube
-회전양극 X-ray tube
(2)보안회로 급수장치
-과부하 방지장치, 경고, 안전스위치 등의 설비
-X-ray tube에는 냉각수로 타겟을 냉각

2. 고니어미터

(1) Diffracted X-ray를 측정하기 위한 측각기
-시료가 작거나 X-ray가 투과하는 시료의 경우는 평행 Beam법이 이용되나, 일반적으 로는 집중법이 이용된다. 집중법은 평행 beam법에 비하여 분해능이 좋고 회절 X-ray 강도가 강하다.
Forcusing circle 위에 있는 X-ray Source로부터 발산된 X-ray를 샘플에 입사시켜, 샘플로부터의 Diffracted X-ray는 Receiving slit에 집중되어 counter에 들어간다.
※ S1, S2 : Soller Slit
DS : Divergence Sit
RS : Receiving Sit
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[hwp/pdf]X선회절분석기[X-Ray Diffractometer, XRD]